Műszer

Beszerzési év

Alkalmazás

Csoportvezető

Elérhetőség

XPS és AES

Gyártó: VG Microtech

1996

Röntgen fotoelektron és Auger elektron spektrométer, felületnalitika, anyagvizsgálat

Dobos Gábor

F.III.Mgfszt

SIMS

Gyártó: egyedi építésű

Szekunder ion tömegspektométer, felületnalitika,anyagvizsgálat

Dobos Gábor

F.III.Mgfszt

JEOL 840A SEM

Gyártó: Jeol

Pásztázó elektronmikroszkóp

Kocsányi László

FA épület

Elektronsugaras beírókészülék feltét

Gyártó: Raith

Elektronsugaras litográfia

Kocsányi László

FA épület

Elektronsugaras vákuumpárologtató

Gyártó: Leybold

2000

Vékonyrétegezés (fém, szigetelő)

Újhelyi Ferenc

F.III.alagsor

Rádiofrekvenciás vákuumporlasztó

Gyártó: Balzers vákuumstand 

1996

Vékonyrétegezés (fém)

Újhelyi Ferenc

F.III.alagsor

Interferométer

Gyártó: Zygo

1992

Optikai és egyéb felületek interferometrikus összehasonlítása, adott formától való eltérésének meghatározása 

Erdei Gábor

F.III.alagsor

Form Talysurf

Gyártó: Taylor Hobson

1992

Optikai és egyéb felületek tűs latapogatása alak és érdesség meghatározás céljából.

Erdei Gábor

F.III.alagsor

Reflexiós és transzmissziós spektroszkóp

Gyártó: Perkin Elmer

2007

Optikai reflexiós és transzmissziós spektroszkóp ultraibolya, látható és közeli infravörös tartomány vizsgálatára

Újhelyi Ferenc

F.III.alagsor

Lézerindukált fluoreszcencia spektroszkóp

Gyártó: BME AFT,OPTI-SENS

2008

Barócsi Attila

F.III.alagsor

Mikrohullámú CVD berendezés

Gyártó: egyedi építésű

1996

Mikrohullámú plazmával segített CVD gyémántréteg leválasztó.

Hárs György

F.III.Mgfszt

Ellipszométer

Gyártó: SOPRALAB, KFKI

2004

Rétegek optikai tulajdonságainak meghatározása

Ujhelyi Ferenc

F.III.alagsor

Nitrogén lézer (250 mJ, 50 Hz)

Gyártó:  Applied Photonics

2000

Lenk Sándor

F.III.alagsor

Nitrogénpumpált festéklézer 

Gyártó: Applied Photonics

2000

lézeres spektroszkópia

Lenk Sándor

F.III.alagsor

Optikai sokcsatornás analizátor (PARC: OMA I mod. 1460)

Gyártó: PARC

2000

gyors optikai spektrumfelvétel

Lenk Sándor

F.III.alagsor

NdYag lézer ( Brillant 400, 1064 nm, 532 nm, 354 nm, 300 mJ ) 

Gyártó: Quantel

2008

LIBS,  anyagvizsgálat, minősítés, lézeres megmunkálás, tisztítás

Kocsányi László

FIII Alsor, A66

Közeli infravörös (NIR) spektrométer (1200 nm-2400nm )

Gyártó: Siemens - BME AFT,Sinis A

2003

Anyagvizsgálat, minősítés

Kocsányi László

FA épület

Kristályvágó és polírozó berendezések

Gyártó: 

Optikai kristálymegmunkálás

Koppa Pál

F.III.alagsor

Fluoreszcencia spektrométer

Gyártó: Hitachi

2003

Anyagvizsgálat, minősítés

Ujhelyi Ferenc

F.III.alagsor

Kísérleti vákuumpárologtató

Gyártó: Edwards

1991

Egyedi rétegkészítés, ITO, termokompresszió

Ujhelyi Ferenc

F.III.alagsor

Alphastep

Gyártó: Tencor

1991

Tűs letapogató lépcsőmérő

Ujhelyi Ferenc

F.III.alagsor

Impedancia és hálózatanalizátor (8753C, <3GHz)

Gyártó: HP

1996

Vékonyréteg rezonancia alapú vastagságmérése

Maák Pál

F.III.alagsor